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芯片由于其精密性能原因，對于外界的環(huán)境敏感程度比較高，如果有灰塵沾染就可能造成芯片的失效等情況，為了降低這種風險，需要把制造機器安置在基本上沒有任何微塵的無塵車間里。具體談談半導體芯片制造無塵車間設計方案。

無塵車間采用孔狀框型地板，以便空氣能夠從天花板垂直流動到制造和設備區(qū)的底部區(qū)域，當氣流回送到無塵室時，將通過微?？諝膺^濾器除去氣流所帶的大部分微粒?？諝鈹_流會將墻壁、天花板、桌子和工具表面上的微粒帶入空氣中，而且使得微粒不容易靜止，但通過線性氣流后，空氣中的微粒就能很快被氣流帶走。因此楚翔將維持線性直線氣流、避免空氣擾動作為該無塵車間的建設重點。

針對IC生產(chǎn)的工藝高要求，百級環(huán)境人凈與物凈設施需要嚴格按照標準建設。

遵循人凈要求做動線布局設計:

入口-換鞋-更換外出服-洗浴-清潔走廊-二次洗浴-換潔凈服-風淋室-潔凈生產(chǎn)區(qū)

遵循物凈要求做動線布局設計:

入口-原料庫-粗潔凈-傳遞窗-精潔凈-傳遞窗-潔凈生產(chǎn)區(qū)-傳遞窗-包裝-成品庫

除此之外在施工階段要嚴格注意各工段的防靜電區(qū)域，除了防靜電裝修，必要的工段設計師要布局專業(yè)的防靜電儀器，同時，消防和自控系統(tǒng)因地制宜。楚翔一般會將空氣凈化機房、超純水處理站設計于同一層,潔凈空氣、純凈水通過技術管道夾層送到潔凈生產(chǎn)區(qū)?？梢杂行У乇苊庠O備運行時震動產(chǎn)生灰塵,設備用房與主體廠房間結構設縫斷開。