光學(xué)微電子無塵凈化車間設(shè)計布局與裝修要求
時間：2021-06-24
光學(xué)微電子無塵凈化車間目前主要應(yīng)用于工業(yè)半導(dǎo)體，電子行業(yè)等，微電子超凈無塵車間的設(shè)計理念比較其他行業(yè)要求較高。下面簡要介紹光學(xué)微電子行業(yè)無塵凈化車間的設(shè)計布局與裝修要求：
電子無塵凈化車間
一、光學(xué)微電子超凈無塵車間平面布局要求
1. 凈化車間潔凈生產(chǎn)區(qū)：潔凈等級設(shè)置為百級、千級或萬級
2. 無塵生產(chǎn)輔助用房：潔凈等級設(shè)置為萬級、十萬級，一般包括人流進出潔凈用房，物料進出清潔區(qū)和部分車間辦公生活區(qū)等。
3. 超凈凈化車間管理區(qū)：潔凈等級設(shè)置為十萬級或三十萬級，一般包括辦公室、會議室、值班室和休息區(qū)。
4. 車間生產(chǎn)專用設(shè)備區(qū)：該區(qū)域?qū)諝鈨艋燃墰]有要求，但要求與凈化車間設(shè)置有效的物理或空氣隔離，本區(qū)域主要設(shè)置凈化空調(diào)機房、電氣用房、純水間、生產(chǎn)用氣間。
電子無塵凈化車間
二、光學(xué)微電子超凈無塵車間裝修要求
1. 車間吊頂材料：采用FFU盲板或選用防火彩鋼板，吊頂內(nèi)須可上人，對承重要進行詳細技術(shù)。
2. 車間墻體裝修材料：采用防火彩鋼板，彩鋼板厚度為50mm，可以盡量有效的適用場地的占地面積，該彩鋼板在安裝時需要進行接地處理，以到達排放靜電的功能。
3. 車間地面裝修：一般選用環(huán)氧自流平或PVC卷材，但無塵車間內(nèi)須對上述兩種材料進行抗靜電處理。
